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臭氧发生器报警以及解决方法
浏览:作者:臭氧发生器 发布日期:2017-11-09

   1. 报警指示灯

  LED灯全亮,则需要检查风扇以及连接线是否连接错误(顺序)

  LED不亮,检查主电源连接的保险丝以及电压是否正常

  2. 报警指示 I

  2.1 TEMP温度报警:保证臭氧管的电源模块安全,监控半导体电源的温度,如果超过一定的温度,ECOPS将进入报警模式,切断臭氧工作

  检查冷却水的温度(10-20℃)

  检查电磁阀V2(V1),控制冷却水的流量阀门,通过OCU中手动同时按下START/STOP按钮,将会听到电磁阀开关的声音

  2.2 LINE报警:无论是3-phase/1-phase,如果电压大于或者小于电源供给的±10%,ECOPS会自动切换到报警模式,切断臭氧
 


 

  电压模式的选择要正确

  对于3-phase接线,如果L3保险丝忘记装上,则LINE报警灯也会显示

  自动模式下运行臭氧发生器,如果所有LED灯短暂的亮一下,没有报警,则臭氧可以继续

  如果ECOPS在短时间内反复重启,则最终将切换到报警模式

  2.3 LOAD U 报警:ECOPS可以调节臭氧管式的电压(如果需要调节的时候),如果过载,则ECOPS将会切换到报警模式,切断臭氧

  氧气的压力太低

  外部通入的气体不是氧气

  检查工艺管体里面是否有水

  如果有冷却水进入工艺气体臭氧管路,则需要更换新的臭氧发生器

  气体管路连接处有水分或者湿度,也会导致Overload,需要用纯净的N2或者氧气吹扫20分钟

  要保证氧气的供给符合设备的技术参数,露点温度一定要小于-40℃

  2.4 LOAD I 报警:如果电流出现失调,则会出现此报警

  氧气压力太高

  外部通入的工艺气体不是氧气

  检查冷却水的水质(电导率要大于50uS/cm,电阻小于20kOhm*cm),一定不能用DI水作为冷却水使用!!!

  要保证冷却水里面没有气泡

  2.5 ECOPS LOAD U和LOAD I 同时出现报警:电源内部发生故障,需要联MKS

  2.6 ECOPS的特性曲线:氧气的压力/冷却水的电导率以及其他因素都会影响放电的频率,工作运行中指定参数外会引起臭氧报警,图中的灰色区域会导致臭氧报警,而特性曲线中的则不会引起报警

  3. 报警指示Ⅱ

  3.1 EXT.ALARM (外部报警) :报警输入通道由D-SUB 15 PIN中的(PIN6&PIN13)接口连接,只要没有电流流过光电耦合二极管,则ECOPS就会保持报警状态,如果臭氧发生器在Operator模式,如果报警输入没有电流,则会停止臭氧发生器,模式切换为Alarm模式。

  检查其中一种external Alarm(外部报警),比如像TLV-Alarm

  检查external Alarm的接线

  检查D-SUB的全部插头是否紧固

  用桥接线插头连接MOD的EXTERNAL,如果EXTERNAL ALARM 消失,则要检查信号接口

  ECOPS中电源的保险丝F3可能被烧断,需要找出具体原因

  3.2 SENSOR RETIRED (传感器失效):通过ECOPS监测氧气传感器B1,如果氧气值超过一定值,则ECOPS会切换到Alarm模式,停止臭氧工作,这可能是因为安装时的高气压,导致一部分低压氧气泄漏到空气中。

  如果SEMOZON中有水泄露,也会导致SENSOR RETIRED报警

  更换氧气监测传感器

  更换传感器之前,先检查一下CSC板上的接线(两边的插头连接线)

  3.3 WATER FLOW 报警:要保证冷却水的最小流量为0.36m³=6L/min=1.59gal(us)/min,如果低于此流量,则ECOPS切换到报警模式,切断臭氧发生器。

  检查冷却水的流量

  3.4 COOLING 报警:除冷却水的流量之外,测量管式臭氧冷却水出水的温度,最好使冷却水温度低于15℃,以便不触发温度传感器

  检查冷却水的温度

  使冷却水的温度低于15℃

  3.5 COVER SWITCH 报警:如果臭氧发生器盖板打开,ECOPS 报警将触发,臭氧被切断,要保证臭氧发生器的盖板盖好,所有螺丝紧固

  3.6 GAS LEAKAGE 报警:如果臭氧发生器没有排风,则可能在操作过程中密封不好泄漏到空气中,如果气体泄漏,则氧气或者臭氧渐渐增加,当柜中的传感器监测氧气浓度≈27%时(新的传感器),ECOPS将会报警,切断臭氧发生器

  对所有的气体管路进行紧固,增加密封性

  以上是臭氧发生器报警时可能出现的现象以及部分原因,如果通过以上方法仍然没有解决问题,建议联系MKS厂家,如果不足之处,敬请谅解。

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